材料表面的微觀幾何形貌特性在很大程度上影響著它的許多技術性能和使用功能，近年來隨著科技的發展，對各種材料表面精度也提出了越來越高得要求。 掃描電子顯微鏡是目前常見的用于表面形貌觀察的分析技術。具有高分辨率，較高的放大倍數；景深效果好，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構；試樣制備簡單；配有X射線能譜儀裝置，可同時進行形貌觀察和微區成分分析。